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S500高精度气体质量流量控制器

简要描述：

S500高精度气体质量流量控制器,高精度气体质量流量计
1.高精度
2.快速响应
3.自动调零
4.任意角度安装

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S500高精度气体质量流量控制器,高精度气体质量流量计

1.高精度
2.快速响应
3.自动调零
4.任意角度安装

S500高精度气体质量流量控制器,高精度气体质量流量计技术参数：

1.产品规格

项目	S500 (规格Type AR111)
外部密封	氟橡胶
接触气体材料	SUS316L,氟橡胶,磁性不锈钢
调节阀类型	非通电时常闭
满量程流量(N2换算流量)	10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min 1,2,3,5,10,20,30 L/min
流量控制范围	2%～99%F.S. (0.1～5V DC)
流量测量范围	0～99%F.S. (0～5V DC)
响应时间（输出电压）	1秒　(保证 1.5秒以内T98)
工作环境温度	5～45℃　(精度保证　15～35℃)
流量精度	±1.0%F.S
线性	±0.5%F.S.
重复性	±0.2%F.S.
工作压差	10mL/min～5L/min :50～300kPa(d) 10L/min～30L/min :100～300kPa(d)
zui大工作（使用）压力	300kPa(G)
耐压	3MPa(G)
泄漏率	1×10^-8Pa･m³/s(He)以下
流量设定信号	0.1～5VDC(2%～99%F.S.)
流量输出信号	0～5VDC(0%～99%F.S.)
供电电源	+15V±5% 100mA以下－15V±5% 150mA以下
供电电源	+15V±5% 100mA以下－15V±5% 150mA以下
管路接头	1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR
安装角度	任意
电气接头	D-Sub　15pin
输入输出阻抗	输入：1MΩ以上　　输出：3mA以下
附加功能	Auto-zero、Auto-close

**满量程流量50mL/min一下的响应时间为2S以内

2. ,高精度气体质量流量计外形尺寸

3.电气接口